发明名称
摘要
申请公布号 JPH0687338(U) 申请公布日期 1994.12.22
申请号 JP19930031852U 申请日期 1993.05.24
申请人 发明人
分类号 B08B11/04;B65G13/00;B65G49/06;F26B3/02;H01L21/304;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):B65G49/06 主分类号 B08B11/04
代理机构 代理人
主权项
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