发明名称 NONVOLATILE SEMICONDUCTOR STORAGE DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06350101(A) 申请公布日期 1994.12.22
申请号 JP19930157997 申请日期 1993.06.03
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 AMANO SHIGEKI;ISOBE KATSU;NAKAJIMA HIDEAKI
分类号 H01L21/8247;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L29/788 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
地址