| 发明名称 |
TEMPERATURE MEASUREMENT DEVICE AND SEMICONDUCTOR MANUFACTURE DEVICE USING IT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06350143(A) |
申请公布日期 |
1994.12.22 |
| 申请号 |
JP19930141039 |
申请日期 |
1993.06.14 |
| 申请人 |
HITACHI LTD;HITACHI HOKKAI SEMICONDUCTOR LTD |
发明人 |
NARITA HIDEMI |
| 分类号 |
G01K7/00;G01K11/00;H01L39/00;H01L39/20;(IPC1-7):H01L39/00 |
主分类号 |
G01K7/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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