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发明名称 PROJECTION EXPOSURE DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06349708(A) 申请公布日期 1994.12.22
申请号 JP19930138490 申请日期 1993.06.10
申请人 NIKON CORP 发明人 KAWAKUBO SHOJI
分类号 G03F7/20;G03B27/32;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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