| 发明名称 |
RF DISCHARGE TYPE ION SOURCE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06349432(A) |
申请公布日期 |
1994.12.22 |
| 申请号 |
JP19930134823 |
申请日期 |
1993.06.04 |
| 申请人 |
SHOWA SHINKU:KK |
发明人 |
HAMASHIMA KAZUHIKO;TAKAHASHI OSAMU;ISHIGAMI TATSUSHI;KOJIMA YOSHIO;YAMASHIRO TAKAYASU;II TORU |
| 分类号 |
H01J27/18;H01J37/08;(IPC1-7):H01J37/08 |
主分类号 |
H01J27/18 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
