| 发明名称 |
METHOD FOR SELECTIVE ETCHING OF METAL FROM SUBSTRATE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06349978(A) |
申请公布日期 |
1994.12.22 |
| 申请号 |
JP19940108631 |
申请日期 |
1994.05.23 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
DAGURASU SAIWAA;DON EICHI HESU;KURISUCHIYAN RARONDO |
| 分类号 |
C23F1/00;C23F1/38;H01L21/48;H01L23/12;H05K3/00;H05K3/06;H05K3/38;(IPC1-7):H01L23/12 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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