由支柱形成于键槽联锁处结合之管状或其他元件

摘要

兹提供一种管状元件(80)，其系由矽支柱(82,86)形成并采圆形型态配置以形成一中心内径，其中并可设晶圆支撑(20)以于炉中进行批次热处理。该等支柱系沿一具联锁键槽结构之轴形成，且该联锁键槽结构中轴向延伸之钩部(80,88)系在相邻支柱上轴向嗫合该等钩部背侧所形成之延伸卡接部。黏结剂(例如二氧化矽成形剂及矽粉末)在组装之前系涂覆于键槽结构，并在组装后硬化以与支柱相互结合。可使用类似结构以由较小部件(110,112)阵列形成板片结构，其中相邻部件间并形成联锁结构(114,116)。