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发明名称
摘要
申请公布号
JPH06105737(B2)
申请公布日期
1994.12.21
申请号
JP19900410656
申请日期
1990.12.14
申请人
发明人
分类号
H01L21/02;H01L21/66;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/66
主分类号
H01L21/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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