匣盒搬运方法及匣盒搬运装置

摘要

本发明揭示一种匣盒搬运装置(10)，其包括：一第一搬运构件(20)，其用于在一水平及垂直方向上搬运一第一匣盒(40)；及一第二搬运构件(30)，其用于在一水平及垂直方向上搬运一第二匣盒(50)。在该匣盒搬运装置(10)中，该等第一及第二匣盒系在一将一晶圆(2)收纳于该匣盒内之预定晶圆收纳位置(P1)与一使用一空匣盒替换一收纳复数个晶圆之匣盒之预定匣盒替换位置(P0)之间循环。由于前述，故该等晶圆系连续地收纳于匣盒内而不会停止一预处理步骤之一操作。