发明名称 Nasssätzung von ausgehärteten Polyimiden.
摘要
申请公布号 DE68919290(D1) 申请公布日期 1994.12.15
申请号 DE19896019290 申请日期 1989.07.03
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BARD, STEVEN LYNDZ, ENDWELL, N.Y. 13 760, US;FEGER, CLAUDIUS, WHITE PLAINS, N.Y. 10 605, US;GLENNING, JOHN JOSEPH, VESTAL, N.Y. 13 850, US;HOUGHAM, GARETH GEOFFREY, OSSINING, N.Y. 10 562, US;MOLIS, STEVEN EARLE, YORKTOWN HEIGHTS, N.Y. 10 598, US;PAWLOWSKI, WALTER PAUL, ENDICOTT, N.Y. 13 760, US;RITSKO, JOHN JAMES, MT. KISCO, N.Y. 10 549, US;SLOTA, PETER, JR., VESTAL, N.Y. 13 850, US;SNYDER, RANDY WILLIAM, VESTAL, N.Y. 13 850, US
分类号 G03F7/26;C08J7/12;G03F7/40;H01L21/306;H01L21/311;H05K1/03;H05K3/00;H05K3/10;(IPC1-7):C08J7/12;H01L21/31;H01L21/90 主分类号 G03F7/26
代理机构 代理人
主权项
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