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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zum Transport von Halbleiterplättchen in einem vertikalen Diffusionsapparat mit chemischer Aufdampfung.
摘要
申请公布号 DE69010020(T2) 申请公布日期 1994.12.08
申请号 DE1990610020T 申请日期 1990.01.18
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO., LTD., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 HARADA, YASUHIRO, OME-SHI, TOKYO-TO, JP;KARINO, TOSHIKAZU, HIGASHIMURAYAMA-SHI, TOKYO-TO, JP;SAITO, RYOJI, NISHITAMA-GUN, TOKYO-TO, JP;TOMETSUKA, KOJI, NISHITAMA-GUN, TOKYO-TO, JP;IZUMI, SHOICHIRO, NISHITAMA-GUN, TOKYO-TO, JP
分类号 H01L21/22;C23C16/54;H01L21/205;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
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