| 发明名称 |
MATERIAL DE REGISTRO POLIMERIZAVEL POR RADIACAO E PROCESSO PARA PREPARACAO DE REGISTROS EM RELEVO |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
BR8903080(A) |
申请公布日期 |
1990.02.06 |
| 申请号 |
BR1989PI03080 |
申请日期 |
1989.06.23 |
| 申请人 |
HOECHST AKTIENGESELLSCHAFT |
发明人 |
ULRICH GEISSLER;HANS WILSKI |
| 分类号 |
C23F1/00;G03F7/004;G03F7/027;H01L21/027;H05K3/00;H05K3/06;(IPC1-7):G03F7/26 |
主分类号 |
C23F1/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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