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发明名称 Verfahren und Vorrichtung zur Messung der Temperaturstrahlung unter Verwendung von einem mit Kompensationslampen ausgerüstetem Pyrometer.
摘要
申请公布号 DE69103207(T2) 申请公布日期 1994.12.08
申请号 DE19916003207T 申请日期 1991.05.09
申请人 INTERUNIVERSITAIR MICROELECTRONICA CENTRUM VZW, LEUVEN-HEVERLEE, BE 发明人 VANDENABEELE, PETER MICHEL NOEL, B-3020 HERENT, BE;MAEX, KAREN IRMA JOZEF, B-3020 HERENT, BE
分类号 G01J5/00;G01J5/52;H01L21/66;(IPC1-7):G01J5/00 主分类号 G01J5/00
代理机构 代理人
主权项
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