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发明名称
FLUID FLOW PATTERN PANEL
摘要
申请公布号
JPH06338468(A)
申请公布日期
1994.12.06
申请号
JP19930151131
申请日期
1993.05.28
申请人
KOKUSAI ELECTRIC CO LTD
发明人
HOSAKA EIJI;YOSHIDA HISASHI;IKEDA KAZUTO
分类号
H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
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