发明名称 |
MANUFACTURE OF N-DOPED SEMICONDUCTOR |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06338471(A) |
申请公布日期 |
1994.12.06 |
申请号 |
JP19930151020 |
申请日期 |
1993.05.28 |
申请人 |
MITSUBISHI CABLE IND LTD |
发明人 |
KUKIMOTO HIROSHI;WATABE SHINICHI;OKAGAWA HIROAKI |
分类号 |
H01L21/22;(IPC1-7):H01L21/22 |
主分类号 |
H01L21/22 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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