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发明名称 SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06333925(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930141593 申请日期 1993.05.20
申请人 NIPPON STEEL CORP 发明人 TAKAHASHI AKIRA
分类号 H01L21/203;H01L21/3205;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/203
代理机构 代理人
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