发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06333933(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930121457 申请日期 1993.05.24
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 IKEDA TATSUHIKO
分类号 H01L29/73;H01L21/331;H01L29/165;H01L29/737;(IPC1-7):H01L21/331 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
地址