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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06333820(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930116855 申请日期 1993.05.19
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 OGATA HIDEKANE
分类号 H01L21/20;H01L21/02;H01L21/205;H01L27/12;(IPC1-7):H01L21/20 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
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