| 发明名称 |
HYDROFLUORIC ACID ETCHANT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06333912(A) |
申请公布日期 |
1994.12.02 |
| 申请号 |
JP19930146898 |
申请日期 |
1993.05.26 |
| 申请人 |
ASAHI GLASS CO LTD |
发明人 |
NISHIZAWA MANABU;KUSHITANI HIDEKI;NAKAO YASUMASA |
| 分类号 |
C09K13/10;H01L21/308;(IPC1-7):H01L21/308 |
主分类号 |
C09K13/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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