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发明名称
FILM FORMING DEVICE
摘要
申请公布号
JPH06333875(A)
申请公布日期
1994.12.02
申请号
JP19930142662
申请日期
1993.05.21
申请人
TOKYO ELECTRON LTD;FUJITSU LTD
发明人
SUZUKI HISAYA;OBA TAKAYUKI;MURAKAMI MASASHI
分类号
H01L21/285;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/285;H01L21/90
主分类号
H01L21/285
代理机构
代理人
主权项
地址
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