发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND ITS MANUFACTURE
摘要
申请公布号 JPH06333919(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930292107 申请日期 1993.11.22
申请人 SUMITOMO METAL IND LTD 发明人 FUKADA TAKUJI
分类号 H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/316;H01L21/320 主分类号 H01L21/316
代理机构 代理人
主权项
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