发明名称 FORMATION OF PIXEL ISOLATION GROOVE
摘要
申请公布号 JPH06334161(A) 申请公布日期 1994.12.02
申请号 JP19930116829 申请日期 1993.05.19
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAMURA HIROKO;SUDO HAJIME;KAJIWARA NOBUYUKI;ARINAGA KENJI;FUJIWARA KOJI
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L27/146;H01L31/10;(IPC1-7):H01L27/146 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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