发明名称 Inspektionsgerät mit Dunkelfeldbeleuchtung.
摘要
申请公布号 DE69008676(T2) 申请公布日期 1994.12.01
申请号 DE19906008676T 申请日期 1990.11.23
申请人 HEUFT SYSTEMTECHNIK GMBH, 56659 BURGBROHL, DE 发明人 NUNNINK, LAURENS, NL-7443 GE SCHALKHAAR, NL
分类号 G01N21/84;G01N21/90;(IPC1-7):G01N21/90 主分类号 G01N21/84
代理机构 代理人
主权项
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