| 发明名称 |
Apparatus for chamfering notch of wafer. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0518642(B1) |
申请公布日期 |
1994.11.30 |
| 申请号 |
EP19920305323 |
申请日期 |
1992.06.10 |
| 申请人 |
SHIN-ETSU HANDOTAI COMPANY LIMITED |
发明人 |
HOSOKAWA, KAORU |
| 分类号 |
B24B9/06;B24B9/00;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00 |
主分类号 |
B24B9/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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