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发明名称 ARRANGEMENT FOR STORING, TRANSPORTING AND ENCLOSING SUBSTRATES.
摘要
申请公布号 EP0542793(B1) 申请公布日期 1994.11.30
申请号 EP19910913805 申请日期 1991.07.26
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 发明人 BOEHMER, GUDRUN;GENTISCHER, JOSEF;LEHNER, ROLF;MODJESCH, DIETER;SCHMUTZ, WOLFGANG
分类号 H01L21/673;B65G49/00;B65G49/07;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/673
代理机构 代理人
主权项
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