| 发明名称 |
THREE-DIMENSIONAL PROFILE MEASURING METHOD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06323820(A) |
申请公布日期 |
1994.11.25 |
| 申请号 |
JP19930109545 |
申请日期 |
1993.05.11 |
| 申请人 |
KOYO SEIKO CO LTD |
发明人 |
HIYAMIZU YOSHINOBU;NISHIZAKI KATSUTOSHI |
| 分类号 |
G01B11/24;(IPC1-7):G01B11/24 |
主分类号 |
G01B11/24 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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