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发明名称 VACUUM TREATMENT APPARATUS
摘要
申请公布号 JPH06319979(A) 申请公布日期 1994.11.22
申请号 JP19930108318 申请日期 1993.05.10
申请人 HIRANO TECSEED CO LTD 发明人 KISHIDA MASATAKA
分类号 B01J3/02;(IPC1-7):B01J3/02 主分类号 B01J3/02
代理机构 代理人
主权项
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