发明名称 Method of forming relief patterns by i-line light irradiation.
摘要 <p>Ein Verfahren zur Herstellung von Reliefabbildungen, umfassend die folgenden Schritte: (A) Beschichten eines Substrats mit einer photopolymerisierbaren Zusammensetzung enthaltend ein Polymer (a) und einen Photoinitiator (b), (B) bildmässiges Belichten des beschichteten Substrats mit UV-Strahlung im i-Linien-Bereich (ca. 360-370 nm), (C) Entfernen der unbelichteten Stellen mit Hilfe eines Lösungsmittels und (D) Tempern des belichteten und entwickelten Materials, dadurch gekennzeichnet, dass als Polymer (a) eine Polyimid-Vorstufe enthaltend wiederkehrende Strukturelemente der Formel (I) verwendet wird, &lt;IMAGE&gt; wobei &rarr; für Strukturisomere steht, worin X den vierwertigen Rest einer aromatischen Tetracarbonsäure darstellt, Y für einen zweiwertigen aliphatischen, cycloaliphatischen oder ein- oder mehrkernigen aromatischen Rest steht, A für -COO-, -CONH- oder -COO&lt;&ominus;&gt;HN&lt;&oplus;&gt;R2R3 steht, worin R2 und R3 unabhängig voneinander C1-C6-Alkyl oder C1-C6-Alkenyl bedeuten, und R1 ein Rest mit einer photopolymerisierbaren olefinischen Doppelbindung ist, mit der Massgabe, dass mindestens 50 % aller Reste X den Rest der Oxydiphthalsäure oder mindestens 50 % aller Reste Y einen Rest eines aromatischen Diamins darstellen, das an allen vier ortho-Positionen zu den beiden Aminstickstoffatomen unabhängig voneinander durch C1-C6-Alkyl, C1-C6-Alkoxy, C1-C6-Halogenalkyl, C6-C14-Aryl, Halogen oder Cyanogruppen substituiert ist, liefert hitze- und chemikalienbeständige Strukturen, die sich insbesondere zur Herstellung von Polyimid-Schutzlacken in der Elektronik-Industrie eignen.</p>
申请公布号 EP0624826(A1) 申请公布日期 1994.11.17
申请号 EP19940810267 申请日期 1994.05.05
申请人 CIBA-GEIGY AG 发明人 HUEGLIN, DIETMAR, DR.;ROHDE, OTTMAR, DR.;FALCIGNO, PASQUALE ALFRED;HAGEN, SIGURD, DR.
分类号 C08G73/10;G03F7/029;G03F7/031;G03F7/037;G03F7/038;G03F7/30;G03F7/40;H01L21/312;H05K3/28;(IPC1-7):G03F7/038;G03F7/20 主分类号 C08G73/10
代理机构 代理人
主权项
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