发明名称 METHOD AND DEVICE FOR INSPECTING FOREIGN MATTER
摘要
申请公布号 JPH06317533(A) 申请公布日期 1994.11.15
申请号 JP19940039675 申请日期 1994.03.10
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 TEI ARINARI
分类号 G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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