发明名称 ETCHING TREATMENT DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06316778(A) 申请公布日期 1994.11.15
申请号 JP19930128292 申请日期 1993.04.30
申请人 TSURUMI SODA CO LTD 发明人 YOSHIKAWA TOSHIRO;KIMURA KATSUHIRO
分类号 C23F1/08;C23F1/18;C23F1/46;(IPC1-7):C23F1/18 主分类号 C23F1/08
代理机构 代理人
主权项
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