发明名称 HIGH-RESOLUTION, HIGH-ACCURACY MEASURING INSTRUMENT USING SCANNING TUNNELING MICROSCOPE
摘要
申请公布号 JPH06317402(A) 申请公布日期 1994.11.15
申请号 JP19920204149 申请日期 1992.07.31
申请人 KANAGAWA KAGAKU GIJUTSU AKAD;NISHIOKI NOBUHISA 发明人 HIGUCHI TOSHIRO;NISHIOKI NOBUHISA
分类号 G01B7/34;G01Q10/04;G01Q30/06;G01Q40/02;G01Q60/10;H01J37/28;(IPC1-7):G01B7/34 主分类号 G01B7/34
代理机构 代理人
主权项
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