Procedure and device for absolute measurements with a laser-interferometer.

摘要

2.1. Bekannte einschlägige Meßverfahren bzw. Meßanordnungen haben den Nachteil, daß deren Meßauflösung bei weitem nicht an die mit anderen Methoden erreichbare Auflösung heranreicht und diese Verfahren für Meßstrecken, die innerhalb eines extremen Bereiches variieren, ungeeignet sind. 2.2. Dieser Nachteil wird bei dem erfindungsgemäßen Meßverfahren dadurch behoben, daß zwei Meßinterferometer mit jeweiligen Meßstrecken verwendet werden die mit dem Strahl desselben Lasers beaufschlagt werden, wobei die aus der arithmetischen Summe oder Differenz der beiden Meßstrecken gebildete Referenzstrecke konstant gehalten wird. Dabei wird aus zwei interferierenden Teilstrahlen jeweils wenigstens ein Interferenzsignal erzeugt, das mittels Photodetektoren gemessen wird. Bei dem eigentlichen Meßverfahren wird die Luftwellenlänge des Laserstrahls innerhalb eines modensprungfreien Wellenlängenbereichs zwischen zwei Wellenlängenwerten kontinuierlich durchgestimmt und während der Wellenlängenmodulation die integralen Phasenänderungen der jeweiligen Interferenzsignale detektiert. Aus diesen Phasenänderungen und der Länge der Referenzstrecke läßt sich der Meßabstand bestimmen. 2.3. Das Meßverfahren sowie die Laserinterferometeranordnung eignen sich insbesondere für absolute Abstandsmessungen. <IMAGE>