| 发明名称 |
METHOD AND APPARATUS FOR TRANSPORTATION OF HIGHLY CLEAN MATERIAL. |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
EP0622841(A4) |
申请公布日期 |
1994.11.09 |
| 申请号 |
EP19920924871 |
申请日期 |
1992.12.02 |
| 申请人 |
OHMI, TADAHIRO |
发明人 |
OHMI, TADAHIRO;MAKIHARA, KOJI DEP. OF ELECTRONICS FACULTY OF ENG. |
| 分类号 |
B65D81/20;H01L21/00;H01L21/673;H01L21/677;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
B65D81/20 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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