发明名称 HEATER FOR VACUUM DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06312125(A) 申请公布日期 1994.11.08
申请号 JP19930103983 申请日期 1993.04.30
申请人 MITSUBISHI HEAVY IND LTD 发明人 NAWATA YOSHIICHI;KUDOME OSAO;ISHII HIROMI
分类号 B01J3/00;C23C14/34;C23C16/46;(IPC1-7):B01J3/00 主分类号 B01J3/00
代理机构 代理人
主权项
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