| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06314737(A) |
申请公布日期 |
1994.11.08 |
| 申请号 |
JP19930103412 |
申请日期 |
1993.04.30 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
KO TATSUICHI;KIMURA KOJI;KAWAMOTO HIROSHI |
| 分类号 |
H01L21/74;H01L21/331;H01L21/76;H01L21/8228;H01L27/082;H01L29/73;H01L29/732;(IPC1-7):H01L21/74 |
主分类号 |
H01L21/74 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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