发明名称 FORMATION METHOD OF ALUMINUM-BASED PATTERN
摘要
申请公布号 JPH06314689(A) 申请公布日期 1994.11.08
申请号 JP19930124687 申请日期 1993.04.30
申请人 SONY CORP 发明人 YANAGIDA TOSHIHARU
分类号 H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/3205;H01L21/324;H01L23/52;(IPC1-7):H01L21/320 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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