发明名称 SURFACE FLATTENING METHOD
摘要
申请公布号 JPH06310478(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930117859 申请日期 1993.04.21
申请人 YAMAHA CORP 发明人 MATSUMOTO YASUHIKO
分类号 H01L21/304;H01L21/3105;H01L21/316;H01L21/768;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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