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发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND FABRICATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06310706(A) 申请公布日期 1994.11.04
申请号 JP19930093218 申请日期 1993.04.20
申请人 FUJITSU LTD 发明人 SHIGEMATSU HISAO
分类号 H01L29/43;H01L21/28;(IPC1-7):H01L29/46 主分类号 H01L29/43
代理机构 代理人
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