发明名称 |
METHOD FOR PROTECTING PROBE PIN FROM OXIDE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH06300778(A) |
申请公布日期 |
1994.10.28 |
申请号 |
JP19930112296 |
申请日期 |
1993.04.15 |
申请人 |
HITACHI ELECTRON ENG CO LTD |
发明人 |
HORIKOSHI FUJIO |
分类号 |
G01R1/06;G01R1/067;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/06 |
主分类号 |
G01R1/06 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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