发明名称 METHOD FOR PROTECTING PROBE PIN FROM OXIDE
摘要
申请公布号 JPH06300778(A) 申请公布日期 1994.10.28
申请号 JP19930112296 申请日期 1993.04.15
申请人 HITACHI ELECTRON ENG CO LTD 发明人 HORIKOSHI FUJIO
分类号 G01R1/06;G01R1/067;G01R1/073;H01L21/66;(IPC1-7):G01R1/06 主分类号 G01R1/06
代理机构 代理人
主权项
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