发明名称 Transfersystem für Halbleiterscheiben.
摘要
申请公布号 DE3750558(D1) 申请公布日期 1994.10.27
申请号 DE19873750558 申请日期 1987.04.28
申请人 VARIAN ASSOCIATES, INC., PALO ALTO, CALIF., US 发明人 HERTEL, RICHARD J., BRADFORD MA 01830, US;DELFORGE, ADRIAN D., ROCKPORT MA 01966, US;MEARS, ERIC L., ROCKPORT MA 01966, US;MACINTOSH, EDWARD D., GLOUCESTER MA 01930, US;JENNINGS, ROBERT E., METHUEN MA 01844, US;BARGAVA, AKHIL, READING MA 01867, US;BARTULA, WILLIAM H., MANCHESTER MA 01944, US
分类号 H01L21/00;H01L21/677;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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