| 发明名称 |
METHOD OF GROWING METAL EPITAXIAL MEMBRANE ON COMPOUND SEMICONDUCTOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06298595(A) |
申请公布日期 |
1994.10.25 |
| 申请号 |
JP19930083733 |
申请日期 |
1993.04.12 |
| 申请人 |
NIPPON TELEGR & TELEPH CORP <NTT> |
发明人 |
HIRONO SHIGERU;OSAKA JIRO;INOUE NAOHISA |
| 分类号 |
C30B23/02;C30B29/52;H01L21/203;H01L21/285;(IPC1-7):C30B23/02 |
主分类号 |
C30B23/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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