发明名称 PRODUCTION SYSTEM USING ULTRAPURE WATER AND OPERATION THEREOF
摘要
申请公布号 JPH06296971(A) 申请公布日期 1994.10.25
申请号 JP19930089555 申请日期 1993.04.16
申请人 NEC KANSAI LTD 发明人 KASATANI SHIGERU
分类号 C02F1/50;(IPC1-7):C02F1/50 主分类号 C02F1/50
代理机构 代理人
主权项
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