| 发明名称 |
THIN AL ALLOY FILM AND ITS PRODUCTION, AND THIN AL ALLOY FILM FORMING SPUTTERING TARGET |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06299354(A) |
申请公布日期 |
1994.10.25 |
| 申请号 |
JP19930083250 |
申请日期 |
1993.04.09 |
| 申请人 |
KOBE STEEL LTD |
发明人 |
ONISHI TAKASHI;YOSHIKAWA KAZUO;YAMAMOTO MASATAKE;ITAYAMA KATSUHIRO;KOGA YASUYUKI |
| 分类号 |
C23C14/14;C23C14/58;(IPC1-7):C23C14/58 |
主分类号 |
C23C14/14 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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