发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF
摘要
申请公布号 KR940010511(B1) 申请公布日期 1994.10.24
申请号 KR19910002302 申请日期 1991.02.12
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP. 发明人 KUROI, TAKASHI
分类号 H01L21/265;H01L21/266;H01L21/322;H01L21/74;H01L21/762;H01L21/8242;(IPC1-7):H01L21/322 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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