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发明名称 FORMATION OF DIELECTRIC SUBSTANCE THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH06293966(A) 申请公布日期 1994.10.21
申请号 JP19930079717 申请日期 1993.04.06
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SHIBUYA MUNEHIRO;KITAGAWA MASATOSHI;KAMATA TAKESHI;HIRAO TAKASHI
分类号 C01B13/14;C23C14/34;H01B3/00;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C01B13/14
代理机构 代理人
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