| 发明名称 |
CHEMICAL VAPOR DEPOSITION SYSTEM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH06295870(A) |
申请公布日期 |
1994.10.21 |
| 申请号 |
JP19930107755 |
申请日期 |
1993.04.08 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
SUZUKI SATOSHI;SUEHIRO YOZABURO;TACHIMORI OJI;HORINOUCHI NORIHITO |
| 分类号 |
H01L21/205;H01L21/31;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
H01L21/205 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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