发明名称 LAY-OUT METHOD OF INTEGRATED CIRCUIT AND SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH06295955(A) 申请公布日期 1994.10.21
申请号 JP19930080904 申请日期 1993.04.07
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 SUGANUMA TATSUJI
分类号 H01L21/82;G06F17/50;H01L21/822;H01L27/04;(IPC1-7):H01L21/82;G06F15/60 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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