| 发明名称 |
FILM FORMATION, FILM-FORMING DEVICE AND MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPH06295907(A) |
申请公布日期 |
1994.10.21 |
| 申请号 |
JP19930077039 |
申请日期 |
1993.04.02 |
| 申请人 |
SONY CORP |
发明人 |
MUROYAMA MASAKAZU;SATO JUNICHI |
| 分类号 |
C23C16/44;C23C16/455;C23C16/509;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/320;H01L21/90 |
主分类号 |
C23C16/44 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
