发明名称 ANALYZING METHOD FOR DUST PART PARTICLE ADHERING TO WAFER
摘要
申请公布号 JPH06294751(A) 申请公布日期 1994.10.21
申请号 JP19930080989 申请日期 1993.04.08
申请人 FUJITSU LTD 发明人 NAKAGAWA SACHIKO
分类号 G01N21/88;G01N21/94;G01N21/956;H01L21/66;(IPC1-7):G01N21/88 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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