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发明名称
Gerät zum automatischen Aufkratzen einer oxidierten Oberfläche.
摘要
申请公布号
DE3850664(T2)
申请公布日期
1994.10.20
申请号
DE19883850664T
申请日期
1988.03.11
申请人
HEWLETT-PACKARD CO., PALO ALTO, CALIF., US
发明人
HUFF, RICHARD E., BELMONT, CA 94002, US;PERLAKI, MIKLOS K., ROCKLIN, CALIFORNIA 95677, US
分类号
H01L21/66;G01R1/067;G01R1/073;G01R3/00;G01R31/26;G01R31/28;H01R33/76;(IPC1-7):G01R1/073
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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